中圖儀器高精度激光干涉儀測(cè)量具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大,、測(cè)量速度快,、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,，還可實(shí)現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移,、速度,、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,，如振動(dòng)分析,、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,。

功能廣

· 可實(shí)現(xiàn)線性,、角度、直線度,、垂直度,、平行度、平面度,、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量,；

· 可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度,、重復(fù)定位精度等,，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角,、直線度,、垂直度等；

· 可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)；

· 可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù),；

· 具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析,、速度分析,、加速度分析、振幅和頻率分析等,，可進(jìn)行振動(dòng)分析,、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,；

· 支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償,。

軟件強(qiáng)

· 友好的人機(jī)界面；

· 豐富的應(yīng)用功能模塊,；

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· 簡(jiǎn)潔化的記錄管理,；

· 支持中文、英文和俄文界面,；

· 支持企業(yè)專屬模板定制,。

中圖儀器高精度激光干涉儀測(cè)量采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度,、抗擾力強(qiáng),、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，集光,、機(jī),、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,，其壽命可達(dá)50000小時(shí)。